特征

HIWIN 鐵心式線性馬達，具無磨耗、零背隙、低頓力與低速度鏈波等特性，加

上動子推力密度大?？蓱糜诟呒訙p速之點對點需求運動，例如：自動化設備、

工具機、半導體設備、玻璃切割機、雷射加工機、PCB加工、SMT機臺、AOI

光學檢測設備、主動式抑振平臺等。

?  最大速度30 m/s

?  最大加速度10G

?  m/s補償前的速度漣波2~3 ％

?  直驅(無旋轉運動的元件轉換直線運動)