特征

HIWIN無鐵心U型線性馬達，具無磨耗零背隙且無頓力與低速度鏈波特性，加上動

定子間無吸引力?？商娲惭b平臺不變形，輕載且需求連續運動曲線。例如：高速

輕載自動化設備，無塵環境的自動化設備，面板平板設備，光學檢測設備，掃描式

電子顯微鏡設備，半導體設備，工具機線切割設備與凸輪車床設備。 

    ?最大速度5 m / s

    ?最大加速度5G

    ?0.1 m / s補償前的速度漣波波0.80％

    ?無噪音0dB

    ?直驅（無旋轉運動的元件轉換直線運動）